1500℃ 튜브퍼니스 가스 분위기,
온도 스케줄에 맞춰 자동 제어
— Alicat MFC 도입 사례

어떤 구성인가

배터리 소재의 소성·열처리에는 산화를 막는 불활성 가스 분위기(Ar·N₂)가 필수입니다. 이 실험실은 삼흥에너지 1500℃ 튜브퍼니스 안에 Ar·N₂를 일정하게 흘려 분위기를 만들되, 온도 승온·유지 단계마다 가스 유량을 다르게 가져가야 했습니다. 가스 유량을 정밀하게 정량 제어하는 역할을 Alicat MFC(질량유량계)가 맡았습니다.

MFC 하나로 여러 가스를 제어

Alicat MFC는 내장 가스 데이터베이스에서 가스 종류를 선택하는 방식이라, 장비 하나로 수십 종의 가스를 정량 제어할 수 있습니다. 이 구성에서는 하나의 MFC로 98종의 가스를 선택·제어할 수 있게 세팅해, 가스를 바꿀 때마다 유량계를 교체할 필요가 없습니다.

RS485로 여러 MFC 동시 제어

여러 가스 라인을 동시에 다뤄야 할 때는 RS485 통신으로 여러 대의 MFC를 하나의 소프트웨어에서 동시 제어합니다. 채널별로 다른 가스·유량을 독립 설정하고 상태를 한 화면에서 모니터링합니다.

온도 스케줄에 가스 유량을 맞춘다 (핵심)

Alicat 기본 소프트웨어도 있지만, 이 실험실은 온도컨트롤러(SP570)의 승온 프로그램에 가스 유량을 연동하고 싶어 했습니다. 정량펌프연구소가 소프트웨어를 커스터마이징해, 튜브퍼니스의 온도 스케줄(승온·유지·냉각)에 맞춰 MFC가 흘리는 가스 유량을 점진적으로 조절하도록 구현했습니다. 온도와 가스 유량이 하나의 시퀀스로 묶여, 사람이 지키지 않아도 프로그램이 분위기를 유지합니다.